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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） Daf|.5>(@  
     J~~\0 u  
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 O&%'j  
     |OQ]F  
    1. 建模任務(wù) hU)t5/h;K  
     ~/OY1~c  
    L3&Ys3-h  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) bQ< qdGa  
    >KKWhJ  
    \i.]-k  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) obb%@S`  
     blc?[ [,!  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： U ?[ (  
     !pU$'1D  
    1. 圓柱的水平間距：250nm *_V+K  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm  *7m lH  
    3. 列距：125nm <T