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案例190(3.0)
s@K|zOx 6psK2d0 該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 _LCK|H%v' `>g:
: 1. 建模任務(wù) <vhlT#p
6- s/\ l"*zr ;# 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) Bd31>
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WVir[Kv% QUH USDT 3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) @'7'3+ c 65)/|j+ 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): !J3g,
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