SEM/EDX（形貌觀測(cè)、成分分析）掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來(lái)測(cè)定試樣所含的元素。通過(guò)對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡（SEM）使用，可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。 T~J?AKx  
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應(yīng)用范圍：軍工，航天，半導(dǎo)體，先進(jìn)材料等 |ym%| B  
測(cè)試內(nèi)容： ;|TT(P:d  
1. 材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察 }q'WC4.  
2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析 f&yQhe6