《先進(jìn)光學(xué)元件微納制造與精密檢測(cè)技術(shù)》以非球面光學(xué)元件的制造技術(shù)為代表，完整闡述了以超精密、確定性為特征的先進(jìn)光學(xué)制造系統(tǒng)；重點(diǎn)論述了超精密磨削成形理論、磨削加工關(guān)鍵技術(shù)以及超精密機(jī)床設(shè)計(jì)技術(shù)；圍繞實(shí)現(xiàn)確定性拋光，詳細(xì)闡述了氣囊拋光原理以及進(jìn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)；介紹了基于坐標(biāo)測(cè)量和干涉測(cè)量的非球面面形誤差測(cè)量技術(shù)，加工軌跡規(guī)劃原理和數(shù)據(jù)處理方法，以及不同加工階段光學(xué)元件亞表面缺陷的檢測(cè)方法。 O;H6`JQ
 
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《先進(jìn)光學(xué)元件微納制造與精密檢測(cè)技術(shù)》內(nèi)容豐富，理論分析深入，既涵蓋了國內(nèi)外先進(jìn)光學(xué)制造技術(shù)領(lǐng)域的研究進(jìn)展，又概括了作者多年積累的該領(lǐng)域科學(xué)研究成果，對(duì)于從事此方面研究的科技人員具有重要的參考價(jià)值和指導(dǎo)意義。 V4+|D2  
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目錄 KLyRb0V  
第1章 緒論 5EFt0?G  
1.1 先進(jìn)光學(xué)元件的應(yīng)用及制造技術(shù)要求 oZa'cZNs  
1.1.1 先進(jìn)光學(xué)元件的特點(diǎn) E+aePo