MEMS技術(shù)發(fā)展史 jWg7
RuN  
MEMS技術(shù)發(fā)展的時(shí)間軸，從從1947年制造的第一個(gè)點(diǎn)接觸晶體管開(kāi)始，到1999年的光網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)結(jié)束，50多年間，MEMS通過(guò)諸多創(chuàng)新，促進(jìn)了當(dāng)前MEMS技術(shù)和納米技術(shù)的發(fā)展。 f?ImQYqP
 
下面關(guān)于MEMS歷史上主要的35項(xiàng)里程碑，看看你知道多少? ;Jn"^zT  
1948年，貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明鍺晶體管(William Shockley) V>{G$(v$  
1954年，鍺和硅的壓阻效應(yīng)(C.S.Smith) a^vXwY  
1958年，第一塊集成電路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) 5&y;r  
1959年，"底部有很多空間"(R.Feynman) rc*iL   
1959年，展示了第一個(gè)硅壓力傳感器(Kulite) Y\.ds%G  
1967年，各向異性深硅蝕刻(H.A.Waggener等) O:=%{/6&D  
1968年，諧振門(mén)晶體管獲得專(zhuān)利(表面微加工工藝)(H.Nathanson等) N(%%bHi#V  
1970年，批量蝕刻硅片用作壓力傳感器(批量微加工工藝) PP{CK4  
1971年，發(fā)明微處理器
Y1?"Ut  
1979年，惠普微加工噴墨噴嘴 LIo3a38n?y  
1982年，"作為結(jié)構(gòu)材料的硅"(K.Petersen) m#D+Yh/y{n  
1982年，LIGA進(jìn)程(德國(guó)KfK) d