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1. 摘要 ;. =]Ar}
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白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 h 27f0x9 c2-oFLNP=  d .%2QkL
%F\.1\&eE 2. 建模任務 q7<=1r+
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@6 <!F".9c@ A 3. 干涉條紋的變化 }m&\I
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!CvtI \,'4eV 4. 走進VirtualLab Fusion hbEqb{#}@
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 NS-0-o|4# Iw?*y.z| 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9sI&d
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 vo (:g6 $ L7R!, 6. VirtualLab Fusion 技術(shù) r+k&W u bRhJ~XB
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