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1. 摘要 ezb*tN! :cvT/xhO 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 yV*jc`1
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/8e 2. 建模任務(wù) K7R!E,oPg mw&'@M_(7
U"RA*| Z!-V&H. 3. 干涉條紋的變化 [,3E#+y l
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KM"BHaSkF Kr?<7vMT5 4. 走進VirtualLab Fusion OS-k_l L K@%gvLa\
fV2w &:^3 ~O~iP8T 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 _(-i46x} /dO*t4$
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