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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-19
    摘要 PM*lnd#J  
    '!X`X=  
    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 U-?r>K2  
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    建模任務(wù) >CCy2W^W  
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    概述 j.Y!E<e4]  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 2aivc,m{r  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 !OV+2suu1  
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     o)\EfPT  
    "`K73M,c?9  
    光線追跡仿真 B%Oi1bO  
    5'Mw{`  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 aS3-A 4  
    •單擊go！  0Ns Po  
    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 9Lt3^MKa"  
    'e))i#/VF  
     1%.CtTi  
    #!z'R20PH  
    光線追跡仿真 wj$3 L3  
    IxG0TJ_  
    •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 Ejf>QIB  
    •單擊go！ ohXbA9&(x  
    •結(jié)果得到點(diǎn)圖（二維光線追跡結(jié)果）。 MoC/xF&  
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     USf;}F:-C  
    tG,xG&  
    場(chǎng)追跡仿真 0J