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摘要 u7mPp 3ZYK 6 ):1U 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 dQT [pNp:
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u<8b5An; 建模任務(wù) frUs'j/bZ i&m_G5u88  cFc(HADM`r 概述 e".=E ;o` %|e)s_%XE •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 =/K)h I!u •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 eP" B3Jw @'>RGaP V
 qkKl;Z?Y: ]y.V#,6e 光線追跡仿真
g*a+$' ^R:&c;& , •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 Nl[&rZ-& •單擊go！ >3p~>;9sc •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 pl%!AY'oE> <Q(E {c3"
 t T BDb F%<*a,m6g 光線追跡仿真 N
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