最近在接觸一家做IBS和IBE設(shè)備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國市場有沒有前途。 a;IOL  
我這幾天去了上海慕尼黑光電展，看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品，基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 [
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的： <{;'0> ToM  
使用的是美國產(chǎn)的離子源（考夫曼博士自家的產(chǎn)品，基本和VEECO一樣），所以和VEECO一樣有美國輸出限制。 3$P  
實際大概做了十幾臺，基本上是在日本的一些研究院，臺灣的某個客戶買了幾臺做BPF。 c1FSQ m81  
大概能做100mm直徑的工件一枚，工件厚度最大10mm。 8mdVh\i!Kf  
鍍膜能做200多層，每層大概幾個納米。 WwWOic2  
因為是離子濺射鍍膜，鍍膜速度非常慢，200層左右大概要鍍5天左右。 #Q["[}flVv  
（高于200層因為應(yīng)力很大，哪怕10mm的板子也會破裂） XA>uCJf  
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產(chǎn)品一般運用在5G通訊，激光，高反射鏡，重力波鏡，EUV鏡上面。 IaRwPDj6  
不知道論壇里面哪位是在這個范圍內(nèi)的，這種設(shè)備（鍍膜慢，工件�。┦欠裨趪鴥�(nèi)有前途？

離子濺射和刻蝕終將走集成自動化，畢竟高端質(zhì)量在這，作者是行業(yè)大佬，有機會虛心向您學(xué)習(xí)

您太客氣了。我只是進入這個行業(yè)比較早，經(jīng)驗比較多一點。 b
5K"lPr  
就鍍膜這個行業(yè)來講，鍍膜是個系統(tǒng)工程，需要學(xué)習(xí)的知識實在是太多了。 YFj#{C.  
恰巧我在離子源這方面做的比較多一點，所以想擴展出來做些事情。 ~K|ha26W  
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