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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-24
    UjU*`}k3  
    摘要 L.@o  
    9n${M:F  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 yqw#= fy  
    2,X~a;+  
    -q.tU*xf'  
     !h0#es\  
    建模任務(wù) HsGyNkr?r  
    amn\#_(  
     o4"7i 9+g  
    gOA  
    入射平面波 T~rPpi&  
    波長 2.08 nm !5P\5WF~Y  
    光斑直徑： 3mm M6P`~emX2  
    沿x方向線偏振 KPOr8=Rc  
    A%pBvULH  
    如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ &O5W  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ 9_z u*  
    I(*4N^9++  
    概覽 iwl\&uNQU  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 {\Eqo4A5}  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 }0P5~]S<5A  
     l25E!E-'b  
       .'y]Ea  
    光線追跡模擬 8)D5loS  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 ^$7Lmd.qI  
    •點擊Go！ C[ ehw  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 ;:[!I