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BFWi(5 8q 摘要 jY/ARBC}H abi[jx C G 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 U \j b"
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mu[Op*) 建模任務(wù) R4{-Qv#8
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 iA' As%S1 cJDd0(tD ! 入射平面波 zrRFn ` B 波長(zhǎng) 2.08 nm H(|AH;?ou 光斑直徑： 3mm F2;:vTA> 沿x方向線偏振 \\:|Odd -\#lF?fzb 如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ L0Y0&;y|R 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ 2q PhLCe Z E!J=8C.: 概覽 [A5W+pDm •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 4w4 ^yQE •接下來(lái)，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 19c@
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