MEMS光開關(guān)的工作原理及應(yīng)用
文章導(dǎo)讀
什么是光開關(guān)? 光開關(guān)是在一定范圍內(nèi)將光信號(hào)從一個(gè)光通道轉(zhuǎn)換成另一個(gè)光通道的器件,具有一個(gè)或多個(gè)可選擇的傳輸窗口,是實(shí)現(xiàn)光交叉連接、 光分插復(fù)用、網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控以及自愈保護(hù)等功能的核心器件。 其實(shí)現(xiàn)技術(shù)多種多樣,包括:機(jī)械光開關(guān)、熱光開關(guān)、聲光開關(guān)、電光開關(guān)、磁光開關(guān)、液晶光開關(guān)和MEMS光開關(guān)等。傳統(tǒng)的以電為核心的開關(guān)逐漸的不能滿足高速大容量光通信的需求, 慢慢的市場(chǎng)上出現(xiàn)了全光開關(guān)。其中MEMS光開關(guān)具有尺寸小、功耗低和擴(kuò)展性好的特點(diǎn),因而得到廣泛的應(yīng)用。 簡(jiǎn)述MEMS光開關(guān)的工作原理 什么是MEMS?MEMS (Micro-Electro-Mechanical System)是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統(tǒng),微機(jī)械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合等,同時(shí)在機(jī)械結(jié)構(gòu)上制備了電極,以便通過電子技術(shù)進(jìn)行控制。 MEMS是一種微電機(jī)系統(tǒng),在制備微機(jī)械結(jié)構(gòu)之后,需要以電子技術(shù)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。典型的驅(qū)動(dòng)機(jī)制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅(qū)動(dòng)機(jī)制中,靜電引力結(jié)構(gòu)因制備簡(jiǎn)單、易于控制和低功耗,得到最廣泛的應(yīng)用。 |