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    [分享]GLAD:光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-29
    概述 {MxnIg7'  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示: 9A+M|;O  
    045\i[l=  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 :l`i4kx  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔  "l2bx  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 qguVaV4Y  
     部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 bg1un@%!l  
    4|F#gK5E  
    系統(tǒng)描述 tN}c0'H  
    T3rn+BxF