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摘要 [KK
|_ @N Yl4N 通常，計算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實。 其中一個例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計：制造技術(shù)不能實現(xiàn)完美的銳利壁，而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果，根據(jù)用戶指定的值對其邊緣進(jìn)行圓整，以便分析更真實的結(jié)構(gòu)。 }:# W jH^ gI^&z  ; R*-c m <VxA&bb7c 用于平滑結(jié)構(gòu)邊緣的可編程模塊 ^~H}N$W"-q EsGu#lD2 LE8<JMB 提示：模塊的輸入與輸出是“DataArray（數(shù)據(jù)數(shù)組）”類型。您可通過查看附帶的樣本文件得到全部代碼。 9z#8K
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