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    [分享]高NA物鏡聚焦的分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-05-19
    摘要 mh` |=M]8E  
    wD9a#AgEd  
    高NA物鏡廣泛用于光學光刻，顯微鏡等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對這種鏡頭進行光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應。相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，可以讓用戶深入了解矢量效應。 Y& {|Sw7?  
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    建模任務 k3hkk:W  
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