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摘要 cZ ,}1?! FD8d-G 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應。 xE6hE'rh.O
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nCLEAe$W\= 建模任務 Aot9^@4]) 5>fAO =u!Q  @lCyH(c% 概述 YN7JJJ/~T Eo0/cln| •案例系統(tǒng)已預先設置了高數(shù)值孔徑物鏡。 |u#7@&N1 •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 .i3_ D?? |+Tq[5&R
 UYhxgPGsj WIw*//nw 光線追跡仿真 2k^'}7G% _W>xFBy
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