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摘要 lub S{3< :dj@i6 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應。 l-npz )E M
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 I'j? T.
w])Sz*J 建模任務 2-6-kS) c X3>(K1  U9q*zP_jV 概述 @GV^ B'}* SW=p5@Hy{ •案例系統(tǒng)已預先設置了高數(shù)值孔徑物鏡。 Tld {b •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 C m&itG 04"h Qt{[
 dvf*w:5K! 7 D^ A:f 光線追跡仿真 ~E\CAZ oa4}GNH •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 a"zoDD/ •單擊go！ Il642#Gh •獲得了3D光線追跡結果。 D'&L wU,o Em 7q@
 `l}-S |a pqe
t Yu 光線追跡仿真 l1??b
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"x~C •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 ^/+s l-6/F •單擊go！ )v9[/
]*P •結果得到點圖（二維光線追跡結果）。 7PMZt$n )0Lq>6j9
 U!5@$Fu 76m[o 場追跡仿真 :U 9R
1^}A r~TT c)2 •切換到場追跡，然后選擇“第二代場追跡”作為模擬引擎。 =
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