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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-28
    摘要 LW 3J$Am  
    >,]e[/p  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 .VEfd4+ni{  
    IV#My9}e  
    vKOn7  
     Tvw2py q  
    建模任務(wù) S^`9[$KH0  
    sU_4+Mk  
     W9m[>-Ew  
    Py0 i%pZ  
    入射平面波 WHavz0knf[  
    波長 2.08 nm ?,e:c XhE2  
    光斑直徑： 3mm _ ,1kcDu  
    沿x方向線偏振 L , Fso./y  
    Z q>.;>  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ U*U )l$!  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ 5$Q`P',*Ua  
    Ywk[VD+.  
    概覽 1xV1#'@[Jd  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 dQ~"b=  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 sW3D ( n  
     b/}0 &VXo  
       #_sVB~sn@  
    光線追跡模擬 aYCzb7  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 'R5l =Wf  
    •點擊Go！ vjRD?kF  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 @gGuV$Mw  
    OL"5A18;M  
     /Z_ [)PTH  
       mBkQ 8e  
    光線追跡模擬 }'v ?Qq  
    •然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 7TY"{? ~O5  
    •單擊Go！ :>ST)Y@]w  
    •結(jié)果，獲得點圖（2D光線追跡結(jié)果）。 N!&VBx^z  
    '=Y~Ir+  
    ):EXh