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摘要 2_3os
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 Wtk|}>Pf YryMB,\
cmU0=js. I8T*_u^_ 建模任務(wù) 0[<'ygu \h s7>5O^K
ujBm"p_| a=y%+E'a' 入射平面波 D$H&^,?N 波長 2.08 nm 5Rw2/J
L 光斑直徑: 3mm "M2WK6?O5 沿x方向線偏振 &FOq c JzCkVF$ 如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? vRW;{,d 如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強(qiáng)度分布? NYg&
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