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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 vck$@3* 2.測(cè)量樣本。 yq}{6IyZ^ 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測(cè)量結(jié)果。 f3N:MH-c 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測(cè)量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 7&3URglsL" ?R(3O1,v^ 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 ;Wa{q.)
LasH[:QQQ 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對(duì)于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測(cè)量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測(cè)量表面粗糙程度。它具有非接觸式測(cè)量，快速測(cè)量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 X
w8i l (<l2 ^H 特征及技術(shù)參數(shù) 4BT`|(7
LU{ Z - 可測(cè)量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測(cè)是否各項(xiàng)同性等。 wu zz%9;@B - 靈敏度R_q<0.5 nm * r`Yz} - 測(cè)量時(shí)間： < 1 s。 9^^#I ~- - 與輪廓儀直接相連——測(cè)量結(jié)果可直接比較。 ^ kr)U8 YfPo"uxx gQu w|u 傳感器： 7f ay:_
Uot-@| l Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動(dòng)的光學(xué)傳感器。它以散射測(cè)量為基礎(chǔ)，用于測(cè)量表面粗糙程度。測(cè)量范圍可從微米級(jí)到亞納米級(jí)。 AD\<}/3U swlWe}1 應(yīng)用： &-fx=gq=
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可在下列領(lǐng)域中進(jìn)行快速，不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測(cè)： SR&
mHI-f0 - 平面或復(fù)雜（自由形狀）表面。 a<wZv-\Vau - 光學(xué)加工（表面加工，鍍膜，制作模具等）。 ~vGtNMQ g - 機(jī)械零件。 .$0Ob< . - 汽車工業(yè)。 YfwJBz D C._sgO
[M^[ 61 QQ：2987619807 EY x Rw
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