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1.Horos—光學粗糙度傳感器。 (_U&EX% 2.測量樣本。 N:"E%:wSbi 3.鉆石旋轉加工表面的測量結果。 S\g8(\u 4.Horos—光學材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉法下Al-表面）。 TxPP{6t )oHIRsr 系統(tǒng)簡介 6j_
A{*~Ng
JGH9b!}-1 隨著光學技術不斷地發(fā)展，對于光學材料或光學薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結構的光學表面均可。 ?A,gDk/# f8'&(- 特征及技術參數(shù) BXyZn0k
@f{)]I +f - 可測量參數(shù)：粗糙度相關一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。 hvZW~
=75 - 靈敏度R_q<0.5 nm 2 JtGS-t - 測量時間： < 1 s。 n# Z6
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