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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 .N( X. C 2.測量樣本。 d0-4KN2 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 > l]Ble 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。
HQ] mDo HLOr Dlj7 系統(tǒng)簡介 hQ'W7EF
Vl;z d= 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 4}s'xMT! k7j.VpN9 特征及技術(shù)參數(shù) sO}CXItC+j
V0BT./ B\< - 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。 p]ujip - 靈敏度R_q<0.5 nm {xeJO:M3/ - 測量時間： < 1 s。 JOJuGB -d - 與輪廓儀直接相連——測量結(jié)果可直接比較。 ,J,Rup">h D<|$ZuB4 @Pf9;7,TV 傳感器： h3-^RE5\`S
6~Dyr82"B Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動的光學(xué)傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ)，用于測量表面粗糙程度。測量范圍可從微米級到亞納米級。 HNCu:$Wr@ E- [Eg 應(yīng)用： ;|0P\ 3
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可在下列領(lǐng)域中進行快速，不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測： (~o"*1fk>
- 平面或復(fù)雜（自由形狀）表面。 /QWXEL/M= - 光學(xué)加工（表面加工，鍍膜，制作模具等）。 OGIv".~s4 - 機械零件。 {@F'BB\ - 汽車工業(yè)。 1 DcX$b
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