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    [分享]粗糙表面光柵的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-17
    案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 gFu,q`Vf*  
    j|N<6GSke  
    即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 ) jvI Nb  
     ~UNha/nt  
    關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 m.! M#x2!  
     _<Ij)#Rq7  
    要求工具箱：光柵工具箱 I.T?A9Z  
     i^ |G  
    相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 Md~._@`|K  
    *FZav2]-  
    一、模擬任務(wù)： sK&kp=zu  
    二、光柵的描述 pPo(nH|<  
     (6:.u.b  
    1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同）。 CYwV]lq :s  
     3(,m(+J[S  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 8TP~=qU  
     ]vn*eqd  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 o|c6=77043  
     lBs-u h  
    4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” A|:+c*7]  
     #W3H;'~/5  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 ^H1m8=  
     )z18:C3  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 G kG#+C0L  
    Iz. h  
    R9 #ar{  
    ?b{y#du2a  
    2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為100nm W;UPA~nT~