1. 建模描述 6rx%>\UkS  
設(shè)計(jì)擴(kuò)散器以在遠(yuǎn)場生成高數(shù)值孔徑光圖案 MKnG:)T<?l  
 光源參數(shù)： #JOWiO0>  
— 高斯光源波長：532nm &7}\mnhB  
— 根據(jù)最終的衍射光學(xué)元件選擇合適的直徑 6<uJ}3  
 系統(tǒng)參數(shù)： ^hc&rD)_  
— 衍射元件到屏幕距離：z=0.5m ptCFW_UV  
 輸出場要求： ':mw(`  
— 期望光圖案：1.0m×0.5m網(wǎng)格 ~
=!d>f
~U  
— 光圖案期望分辨率：±0.5mm P$a `8~w  
（目標(biāo)平面上相鄰衍射級次間的最小距離：∆xTP=1mm（離軸）） RSK~<Y@]q{  
— 目標(biāo)圖案來源于文件 \e=Iw"yd  
“Sc385_HighNA_DiffuserDesign_01_DesiredLightPattern.bmp” NB["U"1[^E  
 衍射光學(xué)元件參數(shù)： t7t?xk!2  
— 衍射元件的相位階數(shù)：4 WRq:xDRn0  
uA'S8b%C  
2. 設(shè)計(jì)類型與步驟 )YKnFSm  
:75$e%'A  
遠(yuǎn)場應(yīng)用 $,/;QP}  
優(yōu)化衍射光學(xué)元件用以生成高數(shù)值孔徑角分布。 qHGwD20 ~  
a-A>A_.  
信息 \A{ [2  
衍射光學(xué)元件在波數(shù)域上生成一個角分布(kx，ky)。 xD:t$~  
J$]-)`[G&  
設(shè)計(jì)步驟 fAW(  
A. 計(jì)算衍射光學(xué)元件的像素尺寸、周期和像元數(shù)。 S,=#b 4\#%  
B. 根據(jù)參數(shù)計(jì)算結(jié)果預(yù)先設(shè)置傅里葉迭代法優(yōu)化文檔。 .tg2HKD_lW  
C. 根據(jù)靶面上期望的光強(qiáng)分布在波數(shù)域上生成一個具有預(yù)補(bǔ)償角的光分布，并作為設(shè)計(jì)目標(biāo)圖形�？梢灶愃频亩�義一個特定的優(yōu)化范圍。 W-
pN  
D. 傅里葉迭代法優(yōu)化文件的最終設(shè)置(定義實(shí)際的設(shè)計(jì)目標(biāo)圖案)。 y4V~fg;  
A. 計(jì)算 jo7`DDb  
1. 根據(jù)信號場沿x方向擴(kuò)展的一個合理的初始值計(jì)算衍射光學(xué)元件的最小像素（特征）尺寸(此處xmax SF僅有0.75m): @
1`!}.Tk  
MHuQGc"e+4  
將此值近似到一個可加工尺寸 (∆x’DOE)以兼顧制造者加工過程中對于位置增加以及最小特征尺寸的加工能力。此處近似后，∆x’DOE=320nm。根據(jù) a5)<roWQ  
該值重新計(jì)算對應(yīng)的x’max SF值。 #|ppW fZQ  
4*)a3jI?  
2. 計(jì)算衍射光學(xué)元件最大周期 pmax: d4 Hpe>  
利用公式    1\[En/6  
bv NXA*0  
3. 計(jì)算衍射光學(xué)元件每個周期的像素?cái)?shù)#s和近似給出采樣點(diǎn)數(shù)目#s’。例如#s’=2355 \!+#9sq0  

)\k({S  
8)NQt$lWp  
K;,_P5J%  
4. 計(jì)算可得到的最大衍射角(用’表示) IbC8DDTD  
4 8}\  
pX\Y:hCug  
DX*eN"z[  
5. 計(jì)算獲得的軸上輸出光強(qiáng)的分辨率 Ib~n}SA  
5t,W'a_  
LU=<?"N6  
aJ4y%Gy?  
B. 迭代傅里葉變換方法優(yōu)化文件的預(yù)設(shè)置 D
~(f7~c%  
J&B>"s,  
C. 1 生成預(yù)補(bǔ)償信號場 I}Fv4wlZG  
 根據(jù)目標(biāo)平面上給出的空間光強(qiáng)分布，使用模塊Mod014在波數(shù)域計(jì)算一個角譜光強(qiáng)分布。 rryC^Vma  
 必須在模塊對話框中輸入采樣距離，采樣距離可通過迭代傅里葉變換方法優(yōu)化文件計(jì)算出來并以波數(shù)值表示（在迭代傅里葉變換方法文件中不勾選“使用角譜坐標(biāo)”）。 6*{sZMG  
C:?mOM#_  
C. 2 模塊設(shè)置 #835$vOe  

w
;p:4`  
 設(shè)計(jì)波長 i
b-)T7V`  
 衍射光學(xué)元件與目標(biāo)平面間距離(需考慮角度要求) Y]9AC  
cLZaQsS%  
C. 3 模塊設(shè)置 "f1`6cx6  
 選擇擴(kuò)散器模式 ,4OH9-Q1  
Ai~j q  
C. 4 模塊設(shè)置 bg =<)