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VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 F3Da-6T@ F/A)2 H_ 很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有: B}p.fE r[kHVT8 干涉儀 .g}Y!
l 光譜儀&單色儀 j`3IizN2 表面計量系統(tǒng) I|>IV ?&1%&?cg9 VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 AC fhy[, M5`m5qc3
(lit^v,9 EmP2r*"rb X88I|Z'HIh VirtualLab Fusion軟件的特性: pAN$c" ih:%U 基于物理光學(xué)的計量系統(tǒng)仿真 5=8_Le 包含部分相干和衍射效應(yīng) vl%Pg!l 尤其對傾斜和偏移的公差分析 b_~KtMO 真彩色獲取 ={
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