案例315（3.1） A}MF>.!}C )( W%Hmi 該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 4$Ud4<
Oz4yUR 1. 線柵偏振片的原理 (/gMtIw ~5
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1& 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 0wZAs G"Bg
2. 建模任務(wù) *ez7Q
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 " fWm{;
偏振元件的重要特性： 4]m?8j)
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偏振對比度 by* v( $
透射率 wY_! s Qo
效率一致性 .7r$jmuFs
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) X ,ok
