近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所薄膜光學(xué)實驗室在透明導(dǎo)電氧化物（Transparent Conductive Oxides，TCO）薄膜的飛秒激光圖案化加工研究方面取得新進展。研究團隊通過對飛秒激光能量密度的控制實現(xiàn)對薄膜表面形貌的有效調(diào)控，揭示了飛秒激光圖案化加工過程中薄膜表面形貌的激光能量密度依賴規(guī)律及形成機制，并提出了一種簡便而準(zhǔn)確的確定飛秒激光工藝參數(shù)的單脈沖激光測量方法。相關(guān)成果發(fā)表在《光學(xué)快訊》（Optics Express）上。 K*xqQ]&  
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TCO薄膜由于其低成本、可見光波段優(yōu)異的光電性能及近紅外區(qū)域非常大的光學(xué)非線性，廣泛應(yīng)用于光學(xué)顯示、太陽能電池及非線性光電子器件等領(lǐng)域。根據(jù)不同的應(yīng)用和系統(tǒng)設(shè)計，需要制造圖案化的TCO薄膜。飛秒激光加工是一種重要的材料圖案化制造方法，是解決非周期性、特殊設(shè)計圖案結(jié)構(gòu)的優(yōu)選方案。然而，如何控制激光工藝參數(shù)，獲得高對比度的圖案邊界是TCO薄膜飛秒激光加工的難點。