光刻機(jī)制造巨頭ASML說過：“中國不太可能獨(dú)立造出頂級(jí)光刻機(jī)，但永遠(yuǎn)別說永遠(yuǎn)。” ASML給自己留了一個(gè)話口，沒有說一定或者絕對(duì)，而是以“別說永遠(yuǎn)”的口吻去對(duì)未來的可能性做出評(píng)判。可見ASML也不確信中國能不能獨(dú)立造出頂級(jí)光刻機(jī)。以后的事情我們不知道，但可以確定的是，只要不斷取得進(jìn)步，就一定能離目標(biāo)更近一些。 ~9JLqN"  
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國產(chǎn)光刻機(jī)傳來好消息，邁出重要一步。得益于芯片制造產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，光刻機(jī)成為了許多芯片制造商們爭(zhēng)搶的半導(dǎo)體設(shè)備。作為造芯片必不可少的設(shè)備工具，越頂級(jí)的光刻機(jī)能夠曝光更多的晶圓，并且在極致光源波長(zhǎng)的作用下，光刻出數(shù)量越多的晶體管。目前全球最頂級(jí)的光刻機(jī)是EUV極紫外光源，它的生產(chǎn)制造能力掌握在荷蘭ASML公司手中。短時(shí)間內(nèi)國產(chǎn)光刻機(jī)還達(dá)不到這樣的成就，可是也不需要?dú)怵H，因?yàn)閲�產(chǎn)光刻機(jī)也在不斷傳來好消息，說明并未停止腳步。 56!/E5qgW  
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只要不斷前進(jìn)，就能迎來破局的曙光。這一次國產(chǎn)光刻機(jī)在曝光光學(xué)系統(tǒng)上傳來好消息，邁出重要一步。消息事件的主角是北京國望光學(xué)科技有限公司，根據(jù)該公司公布的公告顯示，投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及批量生產(chǎn)基地項(xiàng)目有三家候選人中標(biāo)，這三家候選人主要負(fù)責(zé)曝光光學(xué)系統(tǒng)該項(xiàng)目的生產(chǎn)廠商潔凈工程。 R}0xWPt9G  
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國望光學(xué)在光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的定位是物鏡系統(tǒng)供應(yīng)商，這次展開的曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及生產(chǎn)建設(shè)項(xiàng)目，可以說是讓國產(chǎn)光刻機(jī)邁出了重要一步。因?yàn)閲�望光學(xué)這一生產(chǎn)建設(shè)項(xiàng)目的布局規(guī)劃幾乎涉及到從成熟工藝到先進(jìn)工藝的覆蓋，滿足350/280nm 節(jié)點(diǎn)到28nm工藝節(jié)點(diǎn)及以下的光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)品IDM模式能力，實(shí)現(xiàn)集設(shè)計(jì)研發(fā)，生產(chǎn)制造和供貨交付的能力。 |YWX.-aeo  
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不出意外，國望光學(xué)這次是實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)四大件之一的物鏡系統(tǒng)進(jìn)步了。頂級(jí)光刻機(jī)有10萬個(gè)零部件，這點(diǎn)相信大家都清楚。但光刻機(jī)最主要的四大件才是重中之重的關(guān)鍵，包括雙工件臺(tái)、光學(xué)系統(tǒng)、控制軟件、物鏡系統(tǒng)。這四大件當(dāng)中國內(nèi)都有各自的供應(yīng)商巨頭傳來好消息，雙工件臺(tái)可以由華卓精科負(fù)責(zé)，科益虹源負(fù)責(zé)光源系統(tǒng)，國望光學(xué)參與物鏡系統(tǒng)的打造，至于控制軟件還有待完善產(chǎn)業(yè)鏈。 50HRgoP5Y  
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雖然距離國外EUV光刻機(jī)的水準(zhǔn)還有路要走，可經(jīng)過日積月累的進(jìn)步后，一定能迎來轉(zhuǎn)機(jī)。北京國望光學(xué)正在開展的曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)建設(shè)項(xiàng)目已經(jīng)進(jìn)入到關(guān)鍵階段，從公布廠房潔凈工程候選人時(shí)就知道，國產(chǎn)光刻機(jī)已經(jīng)邁出了重要一步。一旦生產(chǎn)基地如期在2023年投入使用，勢(shì)必實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的核心項(xiàng)目突破。作為光刻機(jī)的四大件之一，解決了一個(gè)再去解決第二個(gè)難題，一步步向前，直至目標(biāo)。 o 4cqLMu  
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邁出這一步有何意義？國內(nèi)并非沒有自己的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈，大家只看到了ASML有何種光刻機(jī)制造實(shí)力，其實(shí)只要有去了解國產(chǎn)光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)，會(huì)發(fā)現(xiàn)很多關(guān)鍵的零部件生產(chǎn)商都是有的。 ;H`>jI$  
而這些產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)最終組裝成整機(jī)光刻機(jī)，上海微電子參與最終的設(shè)備制造，出廠銷售。所以造光刻機(jī)不是一家公司的事，而是需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的一起努力。有人說ASML最強(qiáng)的實(shí)力是整合產(chǎn)業(yè)鏈而不是造光刻機(jī)，這句話是有一定道理的。ASML對(duì)外進(jìn)口了大量先進(jìn)零部件，國外技術(shù)占比90%，若不是得到來自世界各國供應(yīng)商的支持，ASML也走不到這一步。這也告訴我們不積跬步，無以至千里，不積小流，無以成江海。意思就是不去積累每一步的路程，怎么能到達(dá)千里之外。江河入海的過程中持續(xù)凝聚力量，最終厚積薄發(fā)。 >*e,+ok  
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所以國望光學(xué)為國產(chǎn)光刻機(jī)邁出這一步，意義是十分重大的。不僅為國產(chǎn)光刻機(jī)補(bǔ)齊了一大供應(yīng)鏈缺口，而且有望實(shí)現(xiàn)在28nm及以下的工藝突破。外界可能意識(shí)不到突破28nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)的重要性，目前國產(chǎn)芯片制造技術(shù)已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)14nm工藝的量產(chǎn)，中芯國際參與芯片制造�？墒钦莆占夹g(shù)是一回事，有沒有國產(chǎn)供應(yīng)鏈的參與又是另外一回事了。 .?LP$O=  
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寫在最后。中芯國際實(shí)現(xiàn)14nm芯片量產(chǎn)，靠的是進(jìn)口ASML的DUV光刻機(jī)，可如果國產(chǎn)光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)28nm以下節(jié)點(diǎn)的突破，很有可能觸及到DUV光刻機(jī)的工藝程度。那么距離最高的EUV光刻機(jī)技術(shù)就不會(huì)太過于遙遠(yuǎn)了。當(dāng)然，現(xiàn)在的目標(biāo)是走好每一步，不需要過于著急，穩(wěn)扎穩(wěn)打最重要。