作為最著名的衍射效應之一，泰伯(Talbot)效應可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們在六邊形網(wǎng)格上構(gòu)造了一個圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。 *)oBE{6D
jj]| }G 圓錐形相位掩模的Talbot圖像 madb l0[y.
91DevizXx 在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的相位掩模版進行了建模。檢測到不同的Talbot圖像，以使柱形圖案位于主像平面中，而孔圖案出現(xiàn)在次像平面中。 x}=Q)| )]
WP=uH g 用于光柵仿真的非偏振光–實例討論 Og?GYe^_
kV8qpw}K
