隨著無線通信從5G向Beyond 5G（B5G）和6G發(fā)展，對于6 GHz以上電磁波頻譜的使用國際上還存在爭論，有些國家已經(jīng)將6 GHz全頻段授權(quán)用于Wi-Fi 6E，而更多的國家在考慮把此頻段部分用于蜂窩無線通信（6G）。因此，源于對不同制式和頻段間信號的隔離需求，工作于6 GHz的高品質(zhì)因數(shù)（Q值）聲波諧振器以及高性能濾波器將會成為下一階段無線通信發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)，也是我國6G技術(shù)發(fā)展必須要自主可控的基礎(chǔ)射頻元器件與芯片。 f$dIPt(  

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近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院左成杰教授研究團(tuán)隊(duì)在鈮酸鋰（LiNbO3）壓電薄膜上設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了Q值超過100000的高頻（6.5 GHz）微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）諧振器，與文獻(xiàn)中現(xiàn)有的工作相比，把Q值提升了2個(gè)數(shù)量級。相關(guān)成果以“Ultra HighQLithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”為題于5月16日在線發(fā)表在電子器件領(lǐng)域知名期刊IEEE Electron Device Letters上。 ;}ThBb3  
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研究人員提出了一種基于三維歐拉角α在x-cut單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設(shè)計(jì)并制備高頻MEMS諧振器的方法。通過設(shè)計(jì)諧振器的電極結(jié)構(gòu)，工作于6.5 GHz的S1振動模態(tài)被激發(fā)，并且當(dāng)聲波傳播方向（α）位于15°時(shí)，諧振器并聯(lián)諧振頻率（fp）處的品質(zhì)因數(shù)（Qp）高達(dá)131540，對應(yīng)的諧振器優(yōu)值k2·Qp和fp·Qp分別達(dá)到6300和8.6×1014Hz（圖1）。 4_'B