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    [求助]APC充氧的作用 [復(fù)制鏈接]

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    離線xzaxd
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-06-16
    請教各位大佬,鍍膜中的APC充氧有什么作用?
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-06-18
    補充氧氣,穩(wěn)定真空度。 xGTVC=q  
    不同真空度下,膜的分布和致密度都是不一樣的。 js)M c*]&  
    離線xzaxd
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-06-20
    但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎?
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-06-21
    APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分,不然吸收會比較大
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-07-02
    回 xzaxd 的帖子
    xzaxd:但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎? (2022-06-20 11:34)  C7PVJnY0  
    ].ZfTrM]  
    理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下,人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下,一般離子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于離子源供氧)
    離線xzaxd
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-07-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下,人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下,一般離子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于離子源供氧) (2022-07-02 19:40)  MD):g @  
    9 _oAs"w  
    明白了!謝謝版主
    離線xzaxd
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2022-07-05
    回 奔跑的小駿馬 的帖子
    奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分,不然吸收會比較大 (2022-06-21 18:22)  gW-mXb  
    LC4W?']/  
    好的!
    離線18844167969
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2022-08-29
    解決吸收,保證材料充分氧化
    離線wflney
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2022-10-02
    補充氧氣,穩(wěn)定真空度
    離線shenhan0701
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2023-03-29
    APC功能上就是壓力控制儀, 一般和離子源或者MFC(流量質(zhì)量控制器)配合使用,用來穩(wěn)定鍍膜真空度維持氧氣分壓的 k=cDPu -  
    R9  Y@I