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    [求助]APC充氧的作用 [復(fù)制鏈接]

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    離線h391485168
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2023-06-26
    回 18844167969 的帖子
    18844167969:解決吸收，保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  e;[8 GE.   
    a$O]'}]`  
    解決吸收，是為了提高穿透嗎？
    離線gaofei555
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2024-07-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  o hlVc%a  
    ]H2aYi$  
    學(xué)習(xí)了... mO.U )tL[  
    離線renlgj
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2024-07-21
    主要是氧化，防止脫氧折射率變化