請(qǐng)教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度。 HO}aLp  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 JKGUg3\~  

但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？

APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大

xzaxd:但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34)  7?Xfge%\  

Cq}LKiu  
理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  f)Z$,&  

OT+=H)/  
明白了！謝謝版主

奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大 (2022-06-21 18:22)  =(2y$,6g?