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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-07-05
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 D;n%sRq(Z  
    ?i=!UN  
    k0uwG'(z9  
     TRok4uc  
    建模任務(wù) XFe7qt;%  
    6EWB3.x19  
     L=FvLii.  
    cb,sb^-  
    入射平面波 "kg$s5o  
    波長 2.08 nm A:J{  
    光斑直徑： 3mm j7+t@DqQ  
    沿x方向線偏振 !Qzp!k9d  
    dkp[?f)x  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ LkB!:+v |B  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ }]?G"f t K  
    jP'b! 4  
    概覽 >7q,[:(gs  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 :vT%5CQ  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 28yxX431S  
     mcG$V0D <{  
       EC&,0i4n:  
    光線追跡模擬 (32nI?)a  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 ~{Bi{aK2  
    •點擊Go！ r2'rf pQ  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 2:F  
    _If?&KJ r  
     IW_D$pq  
       ,4,c-   
    光線追跡模擬 I!O S&8:u  
    •然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 BAHx7x#(  
    •單擊Go！ %/on\*Vh3  
    •結(jié)果，獲得點圖（2D光線追跡結(jié)果）。 .Y.# d7TA  
    wCmv/m  
    (*BW/.Fq  
     -=IM8Dny  
    光場追跡模擬 n82Q.M-H  
    •切換到“第二代場追跡”（Field Tracing 2nd Generation）作為模擬引擎。 *)I1gR~  
    •單擊Go！ #B9[U} 8  
    !