qMKXS,s 分析特定衍射級的衍射效率是
光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光
波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。
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%Q]m6ciAM 5Z1b9.;., 光柵規(guī)格 a%V6RyT4qW 3~%9;.I3! IL*C/y •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。
&Z#g/Hc •操作中的層，提供高反射（HR）功能。
YyjnyG •光柵
參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。
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2E;UHR `[X5mEe 光柵級次分析器設(shè)置 {OH "d
