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由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計(jì)，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個(gè)用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評估。為此，對初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評價(jià)函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 fcgDU *A%  
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建模任務(wù) j|^-1X  
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衍射分束面初始設(shè)計(jì)(*) N/`TrWVF  
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1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計(jì)工具計(jì)算了分束器的初始相位函數(shù)。 LUe>)eqw  
2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。 1YF+(fk  
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    (*)不是這個(gè)用例的一部分 (**)這些會(huì)話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 1q}u?7nnSG  
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TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 CjC'"+[w  
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 TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計(jì)高度輪廓相互作用后可能會(huì)顯示出與期望值的相關(guān)偏差。 yr/]xc$  
 因此，需要進(jìn)行嚴(yán)格的評估。 }[=xe(4]D  
 對于參數(shù)優(yōu)化，需要對結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)進(jìn)行不同的定義。 4~m.#6MT  
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后優(yōu)化的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備(參數(shù)化) B9m>H=8a  
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衍射分束器表面進(jìn)一步優(yōu)化 +
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