南大光電已有4款硅前驅(qū)體產(chǎn)品進(jìn)入國(guó)際先進(jìn)制程企業(yè)驗(yàn)證
9月8日,南大光電披露調(diào)研活動(dòng)信息公告,公司先進(jìn)制程金屬前驅(qū)體和硅前驅(qū)體研發(fā)項(xiàng)目穩(wěn)步推進(jìn)。其中28nm制程項(xiàng)目中有7款“卡脖子”前驅(qū)體材料全部通過客戶驗(yàn)證,具備穩(wěn)定供應(yīng)的能力。
通過對(duì)前期引進(jìn)的19項(xiàng)硅前驅(qū)體專利技術(shù)的消化、吸收和進(jìn)一步研發(fā),已有4款硅前驅(qū)體產(chǎn)品進(jìn)入國(guó)際先進(jìn)制程企業(yè)驗(yàn)證 關(guān)鍵詞: 制程
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