干涉測(cè)量法是
光學(xué)計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度的
機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例,在
VirtualLab Fusion中借助非
序列場(chǎng)追跡,構(gòu)建了具有相干
激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
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(f>~+-IL pipqXe 建模任務(wù) <L>$Y#wU " twq#Alx
} 0x'm WJF#+)P:Y 元件傾斜引起的干涉條紋 qgk6 \&K[ "?(N
MrFi0G7u =x^b 元件移動(dòng)引起的干涉條紋 .E&-gXJ4
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18];fC PA<<{\dp VirtualLab Fusion工作流程 cr"AK"TQ {v~.zRW%]r b@m\ca - 設(shè)置組件的位置和方向
- 設(shè)置組件的非序列通道
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