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    [技術(shù)]高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-11-07
    高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應(yīng)的理解。 9lwo/(s  
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    2. 建模任務(wù) NZ? =pfK\s  
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    3. 概述 X/D9%[{&  
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     示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 u6&Ixi/s'  
     下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 ;."{0gq  
    vP;tgW9Qk  
    k5\ zGsol  
    s5|)4Z ac  
    4. 光線追跡仿真 j{+I~|ZB,  
    =:}DD0o*  
    *m Tc4&*  
     首先,選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。 o~N-x*   
     點擊“Go!”。 IaqN@IlWb  
     隨即獲得3D光線追跡結(jié)果 p+1B6