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臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺(tái)階儀對(duì)測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。 * xdS<  
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CP200臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。 2cY7sE068  
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臺(tái)階儀特性： *|h-iA+9  
1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求 $=uyZTYF)}  
線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。 L!x7]g,^  
2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào) n|dLK.Q  
測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。 )eop:!m  
3.超平掃描平臺(tái) fo9O+e s  
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。 Xm`jD'G  
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機(jī) O?/\hZ"&c  
5.全自動(dòng)XY載物臺(tái)， Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái) c+c3C8s*8  
6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng) -(V]knIF  
臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對(duì)不同被測件的高度測量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持。 -} \g[|  
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CP200臺(tái)階儀典型應(yīng)用：