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數(shù)控機(jī)床因為高精度、高效率、多功能等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于各行業(yè)中。為了保證機(jī)床的加工精度，需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查，這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。線性測量是激光干涉儀用來檢定機(jī)床定位精度的一種常見測量。 )kvrQ6  
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線性測量構(gòu)建 UthM?g^  
進(jìn)行線性測量需使用到“線性干涉鏡”（由分光鏡和角錐反射鏡A組 成）和“線性反射鏡”（角錐反射鏡B）。激光從SJ6000主機(jī)（激光頭）出射，通過分光 鏡后將分成兩束激光，一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光，另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光，通過移動“線性反射鏡”可實現(xiàn)運動軸的線性測量。 <P0&!yN  
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