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具有變化周期的亞波長光柵成像
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具有變化周期的亞波長光柵成像
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樓主
發(fā)表于: 2022-12-27
U(=f5|-
當用近軸光
照明
時,亞
波長
光柵
僅產生一個
衍射
級,因此在這種情況下無法成
圖像
。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透鏡
來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。
VirtualLab
可以
模擬
這樣的
成像
過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。
vf/$`IJ
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N:sECGS,
2Q;Y@%G