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掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術。通過利用白色光源的低相干性,只有當光程差在相干長度內,干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 'Bx7b(xqk Yy}aQF#M Ft}tIP7 2~)]E#9 建模任務 I}=}S"v Yq_zlxd%F 4\?B,! QQ9Q[c 結果 P,wJ@8lv e_TM#J(3 slx^" BF^
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