近日，清華大學(xué)深圳國際研究生院李星輝副教授團(tuán)隊與國防科技大學(xué)團(tuán)隊合作提出了一種基于反射型二維光柵的外差式三自由光柵干涉儀。團(tuán)隊自主設(shè)計具有高光敏度、高頻差和高信噪比的雙頻激光系統(tǒng)，基于二維反射型光柵和采用創(chuàng)新的共光路設(shè)計，搭建三自由度位移測量系統(tǒng)，設(shè)計并優(yōu)化外差信號相位檢測算法，最終實現(xiàn)了亞納米的測量分辨率和重復(fù)定位精度。這項工作將有效推動多自由度光柵精密定位技術(shù)的發(fā)展。 v!~