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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 NLp D,q{
op*+fJHD 1. 簡介 5^dw!^d
U)!AH^{32 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 o7+/v70D
M <)2 2. 摘要 ;x#>J +QlG
m&q; .|W 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計算機優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級次的多光束。 (Gn[T1p? 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 H1[aNwLr 3) 然而基于近似值的設(shè)計步驟對于大的衍射角度和波長范圍內(nèi)的特征尺寸是無效的。 "v1(f|
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