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說明 'Z.OF5|eGT wfDp,T3w7 在本例中,我們仿真了使用BaTiO2的鐵電波導(dǎo)調(diào)制器,BaTiO2是一種折射率因外加電場而發(fā)生變化的材料。該器件的結(jié)構(gòu)基于文獻[1]。我們模擬并分析了給定工作頻率下波導(dǎo)調(diào)制器的有效折射率與電壓的關(guān)系。 =1*%>K e" Eqi- *:9 >W$0u 5,
-pBep< 背景 _7lt(f[S Wk`bb!P_ 鐵電波導(dǎo)由硅層和玻璃襯底上的BiTiO3(也稱為BTO)層組成。BiTiO3晶體的取向為晶體的[011]方向平行于光傳播方向(y方向),[001]方向沿著z方向。BiTiO3層的頂部的非晶硅可以形成脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu),可以限制橫向(x方向)的光分布。金電極觸點被放置在離非晶硅脊波導(dǎo)兩側(cè)1μm遠的地方。 U.RW4df%E C[xJU6z ^p 2.UW N&fW9s} 在本案例中,我們首先使用CHARGE求解器模擬不同偏置電壓下,波導(dǎo)橫截面上的電場分布。然后,我們根據(jù)對應(yīng)的電場分布變化來計算BiTiO3材料折射率的變化,并模擬分析出不同偏置電壓下波導(dǎo)的有效折射率。 A{z>D`d OG`|td 步驟一:用CHARGE模擬電場分布 |
"Jx 在建立好模型后,我們將陰極觸點設(shè)置為定值0 V,陽極觸點設(shè)置為掃描模式,掃描范圍為1-5 V,掃描點間隔為0.5 V。 ]bTzbu@ 3J'73)y }UKgF. dUoWo3r= 設(shè)置完成后,運行仿真程序?qū)⒆詣舆M行模式,掃描結(jié)果將由電場監(jiān)視器記錄并將數(shù)據(jù)保存在WG_Efield.mat文件中。 SqXy;S@ (@)2PO/ >-5td=:Z jq57C}X}2 步驟二:使用MODE分析有效折射率 \fK47oV 為了計算不同電壓下鐵電波導(dǎo)的有效折射率,我們需要使用MODE模塊中的FDE求解器。FDE求解器可以分析出各類波導(dǎo)橫截面上的導(dǎo)模和導(dǎo)模對應(yīng)的各類光學(xué)參數(shù),因此在本步驟中,我們可以使用FDE求解器分析出鐵電波導(dǎo)橫截面有效折射率與偏置電壓的關(guān)系圖。首先,我們將上一步中得到的包含不同偏置電壓下電場分布的WG_Efield.mat文件,通過預(yù)留的接口導(dǎo)入到FDE求解器中,如下圖所示。 ZD5I5 d"B@c;dD g.I(WJX0 ]By0Xifew 在實現(xiàn)電場數(shù)據(jù)的傳遞后,可以通過控制偏壓參數(shù)(圖中bias_point)來切換不同電壓下的電場分布。這樣我們只需要對偏振參數(shù)進行掃描,就能得到不同電壓下鐵電波導(dǎo)的有效折射率。需要說明的是Lumerical計算不同電場分布對BaTiO2材料折射率的影響是通過編寫腳本程序?qū)崿F(xiàn)的,可在上圖setup-script中查看詳細處理過程。如果使用者需要替換其它鐵電材料或者改變鐵電材料波導(dǎo)傳播方向與電場的角度,可根據(jù)使用情況對腳本程序進行對應(yīng)修改。 j?:`-\w5
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