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    [技術(shù)]粗糙表面光柵的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-23
    即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過(guò)使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來(lái)完成的。 nBItO~l  
     'gso'&Uaj  
    關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 Q.U$nph\%d  
     @b#^ -  
    要求工具箱：光柵工具箱 ZD>a>]  
     s{bdl[7  
    相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 %A/_5;PZ/  
    x_#-tB  
    一、模擬任務(wù)： [ ho (z30k  
    二、光柵的描述 1O/ g&u  
     >rsqH+oL  
    1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級(jí)次的效率相同）。 MrRaU x6z  
     R&f^+0%f  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來(lái)模擬。 9W ^xlid6  
     'x"08v$  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 (la[KqqCO  
     ;)AfB#:d  
    4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ZraT3  
     LwcIGhy  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 5N[9 vW  
     e4>"92hX  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 p>v