toCxY+"nbU  
表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準(zhǔn)測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。 ]%y3*N@AZ  
"/&_B  
隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計算機技術(shù)、傳感技術(shù)、信號分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對表面形貌測量精度不斷提高，從微米尺度進入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。 ?4 fXCb]7  
;Xw'WMb*=  
1、測量方式 B8'e,9   
（1）臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點云信號，數(shù)據(jù)點云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。 }I1SC7gY  
boJ  
（2）白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級非接觸式測量的光學(xué)檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。 9$u'2TV  
Gx]J6Z8  
2、測量應(yīng)用 i,Q{Z@,  
（1）臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。 (\UA+3$4  
參數(shù)測量功能 m6 )s