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建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進行近場分析和內(nèi)部場分析 q_58;Bv  
工具箱：光柵工具箱 4tBYR9|  
關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 :vbW  
組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： f-Z/tfC  
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 YaqJ,"GlT  
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1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) sPIn|d  
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2) 雙擊 ，進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 gPPkT"  
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3) 進入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 <e6#lF
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4) 點擊 ，進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 µm，如下圖所示 ECmW`#Otb)  
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5) 點擊 ，進入轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： h<QY5=SF  
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(1) 通過點擊添加數(shù)據(jù)(Add Datum)增加轉(zhuǎn)變點(transition points)，并給該點對應(yīng)的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值，以形成所需轉(zhuǎn)變點序列。 C3g_!dUs  
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